特許

J-GLOBAL ID：200903026977204253

帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法

発明者： 前畑 英彦 ,  塚原 正徳 ,  荒井 浩成
出願人/特許権者： 日立造船株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-197335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041745
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】 蒸着作業時間を大幅に短縮して効率よく両面の蒸着を行う。【構成】 送りテーパーローラー18から、帯状基板12を45度傾斜した状態で、加熱蒸発されるターゲット6上方の蒸着経路に送り出して帯状基板12の表面に蒸着した後、途中で帯状基板12をねじり部の中央が垂直となるように90度ねじって反対に45度傾斜した状態で、帯状基板12の裏面12bに蒸着して受けテーパーローラー19に受け取り、帯状基板12の両面を一度に蒸着する。

請求項（抜粋）：

加熱蒸発されるターゲット上方の蒸着経路上で帯状基板を長さ方向に送り出すに際し、帯状基板を90度から180度の範囲でねじって両面がターゲット側に向くようにすることを特徴とする帯状基板へのアルミニウム両面蒸着方法。