特許
J-GLOBAL ID：200903026978751134
薄膜トランジスタ生/化学センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184231
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015198
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【課題】 比較的安価に製造でき、非常に感度が高い生/化学センサを提供する。【解決手段】 化学センサ(10)は、薄膜トランジスタ(15)を含み、そのゲート(16)は一方側に配置されている。絶縁層(42)が対向側に配置され、指示膜(17)が、絶縁層(42)上に、ゲート(16)に対して全体的に対向する関係で配置されている。生物学的または化学的種によって発生される、指示膜(17)内の誘導電荷が、トランジスタ(15)内のチャネル電流を変化させる。更に、ゲート(16)上の電位を用いて、得られたチャネル電流の変化を打ち消す。この電流変化を打ち消すために用いられる電位は、誘導電荷の非常に高感度な測定値となる。
請求項（抜粋）：
化学センサであって:第1および第2対向側を有し、該第1側にゲート(16)が配置された薄膜トランジスタ(15);前記第2側に配置された絶縁層(42);および全体的に前記ゲート(16)に対して対向する関係で、前記絶縁膜(42)上に配置された指示膜(17);から成ることを特徴とする化学センサ。
FI (2件)：
G01N 27/30 301 K
, G01N 27/30 301 V
