特許
J-GLOBAL ID：200903026981402043
ウェーハ研磨装置およびウェーハの研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257190
公開番号（公開出願番号）：特開平10-100065
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ研磨加工中に研磨の終点検出を高精度で行うことを課題とする。【解決手段】 表面に研磨パッド3が貼付されたプラテン2と、研磨すべきウェーハWの一面を保持して研磨パッドにウェーハの他面を当接させる1または2以上のウェーハ保持ヘッド7と、これらウェーハ保持ヘッドをプラテンに対し相対運動させることにより研磨パッドでウェーハ他面を研磨するヘッド駆動機構6とを具備し、ウェーハ保持ヘッドは、研磨すべきウェーハの一面を保持するための円盤状のキャリア部10と、円筒状に形成されキャリア部を軸線をほぼ同じくして内部に配し内周面でキャリア部を支持するヘッド本体8とを備え、ヘッド本体の内周面には、キャリア部の外周に当接する位置に半径方向外方に加わる圧力を検出する圧力センサ24が設けられている技術が採用される。
請求項（抜粋）：
表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハの一面を保持して前記研磨パッドにウェーハの他面を当接させる1または2以上のウェーハ保持ヘッドと、これらウェーハ保持ヘッドを前記プラテンに対し相対運動させることにより前記研磨パッドでウェーハ他面を研磨するヘッド駆動機構とを具備し、前記ウェーハ保持ヘッドは、研磨すべきウェーハの前記一面を保持するための円盤状のキャリア部と、円筒状に形成され前記キャリア部を軸線をほぼ同じくして内部に配し内周面で該キャリア部を支持するヘッド本体とを備え、該ヘッド本体の内周面には、前記キャリア部の外周に当接する位置に半径方向外方に加わる圧力を検出する圧力センサが設けられていることを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 321 H
