特許

J-GLOBAL ID：200903026984165883

表面電位及び形状測定器

発明者： 高橋 淳一 ,  堀口 浩幸 ,  尾崎 元美
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120359
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312873
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 感光体等の測定対象物の表面電位と表面形状とを同時かつ独立して測定するに際して、高い測定精度と高い応答性とを確保すること。【構成】 測定対象物2に対向させた導電性の探針3と、この探針3と測定対象物2の表面電位VS との間に作用する静電力FS を検出する静電力検出手段12と、探針3に対して直流電圧V9に交流電圧V4を重畳して交流電圧が正側に振れた時の静電力と負側に振れた時の静電力とが等しくなるよう直流電圧V9 を可変させる電位制御手段16と、探針3の直流電圧V9 の電位を測定する直流電位測定手段26と、交流電圧V4 が、正側に振れた時の静電力が一定となり、又は、負側に振れた時の静電力が一定となり、又は、正側に振れた時の静電力と負側に振れた時の静電力との和が一定となるように交流電圧V4 の振幅を制御する振幅制御手段37と、交流電圧V4 の電位を測定する交流電位測定手段38とを設けた。

請求項（抜粋）：

測定対象物に対向させた導電性の探針と、この探針と前記測定対象物の表面電位との間に作用する静電力を検出する静電力検出手段と、前記探針に対して直流電圧に交流電圧を重畳して交流電圧が正側に振れた時の静電力と負側に振れた時の静電力とが等しくなるように前記直流電圧を可変させる電位制御手段と、前記探針の前記直流電圧の電位を測定する直流電位測定手段と、前記交流電圧が、正側に振れた時の静電力が一定となり、又は、負側に振れた時の静電力が一定となり、又は、正側に振れた時の静電力と負側に振れた時の静電力との和が一定となるように前記交流電圧の振幅を制御する振幅制御手段と、前記交流電圧の電位を測定する交流電位測定手段とよりなることを特徴とする表面電位及び形状測定器。

IPC (4件)：

G01R 29/12 ,  G01R 29/24 ,  G03G 15/00 303 ,  G03G 15/08 115