高周波誘導結合プラズマ発光分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-118119
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313441
出願日： 1995年05月17日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】ネブライザおよびプラズマトーチにおける詰まりの状態を監視し、詰まりの発生による試料およびキャリアガスの導入量の低下・停止を測定者が察知できる高周波誘導結合プラズマ発光分析装置を提供する。【構成】ネブライザ1で霧化した試料溶液2はスプレーチャンバ7を経由してプラズマトーチ8に導かれる。ガス制御部11とネブライザ1の間のキャリアガス流路22には、ガス流量センサ6が取り付けられ、ガス流量センサ6からの流量信号はデータ処理部19に取り込まれ、あらかじめ記憶されている基準値と照合される。ネブライザ1またはインジェクタ管23の詰まりにより、流量信号強度が基準値よりも小さくなった場合には、詰まりを生じた旨が警告表示部21に表示される。また、ガス制御部11および高周波電源15の出力を停止してプラズマを自動的に消火する。

請求項（抜粋）：

ネブライザによって霧化した試料溶液を、キャリアガスによって高周波誘導結合プラズマ中に送り込み、前記試料溶液中に含有される元素の発光分析を行う高周波誘導結合プラズマ発光分析装置において、前記試料溶液によって前記ネブライザまたはプラズマトーチ管が詰まっているか否かを監視する手段を設けたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ発光分析装置。

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