基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227562
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055419
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】基板を載置したトレイの下動時、トレイがOリングに吸着され、トレイが不測の所へ落下する。【解決手段】基板搬送室2の上壁15に設けられた環状体16と、環状体16の上面を着脱自在に閉塞した上蓋19と、環状体16の下面にOリング33を介して着脱自在に下方より当接されるトレイ31と、トレイ31の上面中央部に載置される基板32と、環状体16,上蓋19及びトレイ31により形成されるロードロック室34と、上蓋19の下面に設けられ,トレイ31を下方に押圧する付勢体35とを備える。

請求項（抜粋）：

基板搬送室の上壁に設けられた環状体と、この環状体の上面を着脱自在に閉塞した上蓋と、前記環状体の下面にOリングを介して着脱自在に下方より当接されるトレイと、このトレイの上面中央部に載置される基板と、前記環状体前記上蓋及び前記トレイにより形成されるロードロック室と、前記上蓋の下面に設けられ,前記トレイを下方に押圧する付勢体とを備えた基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C23C 14/56 , H01L 21/203

FI (4件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 N , C23C 14/56 G , H01L 21/203 S

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