特許

J-GLOBAL ID：200903026991423685

走査型共焦点顕微鏡装置

発明者： 高橋 千佳
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-265469
公開番号（公開出願番号）：特開2004-102032
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】散乱などにより反射光が弱くなるエッジ部等を有する試料に対しても、正確な高さ情報を取得できるようにする。【解決手段】本装置は、試料10からの反射光を検出する手段としてノーマル感度の光検出器15と高感度の光検出器19を備える。そして、レボルバ7の各測定位置において、試料10の表面の各測定点についての光検出器15の検出データと光検出器19の検出データを取得し、予め設定された閾値以上の光検出器19の検出データがあった場合には、それを、光検出器15の対応する検出データに置き換える。このようにして得られた、レボルバ7の各測定位置における検出データに基づいて、高さ情報を取得する。これにより上記課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を試料に集束させる対物レンズと、 該対物レンズによって試料に集束される光を走査する二次元走査手段と、 前記対物レンズによる集光位置と前記試料との相対的な位置を前記集束光の光軸方向に沿って移動させる焦点位置移動手段と、 前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された複数の共焦点絞りと、 該複数の共焦点絞りの各々に対応して設けられ、各々対応する前記共焦点絞りを通過する光の強度を検出する、感度の異なる複数の光検出手段と、 該複数の光検出手段により検出された光の強度に関する情報の編集を行う編集手段と、 該編集手段による編集により得られた光の強度に関する情報に基づいて前記試料の高さ情報を取得する手段と、 を備えたことを特徴とする走査型共焦点顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G02B21/00 ,  G01B11/02

FI (2件)：

G02B21/00 ,  G01B11/02 Z

Fターム (34件)：

2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065FF23 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL30 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2H052AA08 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AD08 ,  2H052AD18 ,  2H052AD33 ,  2H052AD35 ,  2H052AF06 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25