特許

J-GLOBAL ID：200903026993577043

面合せ装置

発明者： 石神 良明
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113766
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 第1の光学部材の押しつけ力を大きくしないと、面合わせ及び面がずれるを生じる恐れがある。球状ガイドと球面凹部を備えた構成にあっても、面接触の為に摩擦抵抗により大きな力を必要とする。【解決手段】 第2の光学部材2を支持してX軸、Y軸方向に回転できると共に半球状を成したホルダ3は、半球状の3つの支持台4に載置されている。この支持台4は、支持台ベース5の中央部に埋設された板状の永久磁石6上に正三角形に設置されている。永久磁石6は支持台4による支持点接触点圧を増加するように作用する。第1の光学部材1が降下する過程で第2の光学部材2に当接する状況に応じてホルダ3が回転し、第1の光学部材1と第2の光学部材2との面合わせが行われる。

請求項（抜粋）：

第1の光学部材を支持しながら第1の方向に移動する移動手段と、第2の光学部材を支持して前記第1の方向に直交すると共に夫々が直交する第2及び第3の方向に伸びる軸を中心にして回転し、磁性材料で形成された少なくとも1部が球面状のホルダ手段と、前記第1の光学部材が前記第1の方向に移動して前記第2の光学部材に当接するとき、前記ホルダ手段を回転させながら前記ホルダ手段を前記球面状の部位の少なくとも3点で支持する支持手段と、前記ホルダ手段に作用する磁界を発生し、前記支持手段による前記ホルダ手段の接触圧を所定の値にする磁力手段とを具備することを特徴とする面合せ装置。