特許

J-GLOBAL ID：200903027001572548

微結晶膜およびその製造方法

発明者： 佐々木 敏明 ,  龍治 真 ,  市川 幸美 ,  東海 正國
出願人/特許権者： 株式会社富士電機総合研究所 ,  川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294800
公開番号（公開出願番号）：特開平10-139413
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 微結晶膜の製膜速度を高め、かつ結晶性を向上させる。【解決手段】 電子ビーム励起プラズマCVD法を用い、製膜中に原料ガスの供給量を第1の供給量から第2の供給量に増加させる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたアモルファス中に多数の結晶粒が混在してなる微結晶膜において、平均結晶粒径が前記基板側で大きく、基板と反対側で小さい結晶粒径分布を有することを特徴とする微結晶膜。

IPC (5件)：

C01B 33/02 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

C01B 33/02 E ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04 V