特許
J-GLOBAL ID：200903027006763260
音響センサおよびダイアフラム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮園 博一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-190856
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013509
出願日： 2005年06月30日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】音響センサの小型化を図りながら、感度を向上させることが可能な音響センサを提供する。【解決手段】背極板10と、背極板10に所定の距離を隔てて対向するように、かつ、振動可能に設けられたポリシリコン層5bと、ポリシリコン層5bとともに振動されることによって発電可能な圧電体からなる発電膜6とを含むダイアフラム7とを備え、ポリシリコン層5bは、発電膜6から供給される電荷を蓄積するように構成され、ダイアフラム7と背極板10との静電容量の変化に基づいて、音を電気的な信号に変換する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電極板と、
前記電極板に所定の距離を隔てて対向するように、かつ、振動可能に設けられた蓄電部材と、前記蓄電部材とともに振動されることによって発電可能な圧電体からなる発電部材とを含むダイアフラムとを備え、
前記蓄電部材は、前記発電部材から供給される電荷を蓄積するように構成され、
前記ダイアフラムと前記電極板との静電容量の変化に基づいて、音を電気的な信号に変換する、音響センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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