特許

J-GLOBAL ID：200903027007985399

走査型回路基板検査装置

発明者： 市山 義和
出願人/特許権者： 市山 義和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335637
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139555
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】電子的な走査,或いは光ビームによる二次元走査等を利用する検査装置では,回路基板の配置位置精度,加えて光ビーム走査による場合は走査精度が重要であり,設定及び振動対策を徹底しなければ信頼性は確保できない等の問題がある。そこで本発明の目的は,走査型の回路基板検査装置に於いて,回路基板或いは光ビーム装置等の設定精度を緩和し,或いは光ビーム走査の精度を向上できるような走査型回路基板検査装置を提供することである。【解決手段】検査に先立つ予備走査により基準位置を常に確認して制御側で適合させ,回路基板の設定精度,光ビーム走査系の設定精度等を緩和し,さらに回路基板近傍での光ビーム位置を検出して閉ループ制御を実施させることで振動,衝撃により回路基板と光ビーム走査系との間に位置ずれが生じる場合でも光ビーム走査精度を確保できるような走査型回路基板検査装置を提案する。

請求項（抜粋）：

光ビーム走査或いは画像上の走査によりにより回路基板に対向する電極装置上の所定位置にアクセスして回路基板良否を判別するる走査型回路基板検査装置に於いて,回路基板を設定する毎に或いは検査の途中で予備走査により回路基板上の予め定めた電極に対応する電極装置上へアクセスして光ビーム走査系の有する光ビームの第一位置信号或いは画像走査による第一位置信号との関係を検知して回路基板に対向する電極装置上の位置を補正処理することにより走査精度を確保することを特徴とする走査型回路基板検査装置

IPC (6件)：

G01R 31/302 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  H05K 3/00

FI (6件)：

G01R 1/06 F ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  H05K 3/00 Q ,  G01R 31/28 L

Fターム (19件)：

2G011AA01 ,  2G011AE01 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC11 ,  2G132AA00 ,  2G132AD15 ,  2G132AF14 ,  2G132AL11 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10