特許
J-GLOBAL ID：200903027013107433
プローブカードにおける接触子構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
桑原 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019413
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216215
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 LSI,ICチップの製造時における各被測定パッドを通した電気的特性の測定時に、各被測定パッドに対して常に正確なコンタクトが可能で、プローブカードに対して強固に固定,配列させ得るようにした接触子構造を提供すること。【構成】 任意断面形状で可撓性のある導電性素材を用いた複数個の接触子12を設け、プローブカード11に対する各接触子12の取付け固定部15を各被測定パッド2の被測定面2aに対向して設定させ、取付け固定部15から各被測定パッド2の被測定面2aに向けて突出される各接触子12の長手方向19の先端部には、屈曲されたコンタクト部17を形成させ、かつコンタクト部17と取付け固定部15とを所定方向に所定間隔gで偏心させて構成し、各被測定パッド2の被測定面2aに対して、各接触子12の長手方向に加えられる加圧力により、各接触子12のコンタクト部17を加圧接触させるようにする。
請求項（抜粋）：
LSI,ICチップ上の各被測定パッド対応に各接触子を配列して取付け固定させるプローブカードにおいて、細いワイヤー状,薄い切片状などの任意断面形状で可撓性のある導電性素材を用いた複数個の接触子を設け、前記プローブカードに対する各接触子の取付け固定部を各被測定パッドの被測定面に対向して設定させると共に、前記取付け固定部から各被測定パッドの被測定面に向けて突出される各接触子の長手方向先端部には、屈曲されたコンタクト部を形成させ、かつこれらのコンタクト部と取付け固定部とを所定方向に所定間隔で偏心させて構成し、前記各接触子の長手方向に加えられる加圧力によって、前記各被測定パッドの被測定面に各コンタクト部を加圧接触させ得るようにしたことを特徴とするプローブカードにおける接触子構造。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/28
