隙間および段差測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281481
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134008
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】互いに接近して取り付けられる二つの被測定部材の隙間および段差の測定方法を提供すること。【構成】被測定部材を光切断法により連続線として認識し、該連続線の内最も長いものと2番目に長いものから、二つの被測定部材のそれぞれの直線部分、および端部の丸み部分の中心を求め、それぞれの中心間距離を隙間とし、直線間の間隔を段差として求めることを特徴とする隙間および段差の測定方法【効果】隙間測定の簡略化およびその測定信頼性の向上が図れる。

請求項（抜粋）：

被測定部材の表面にスリット光を照射する照射手段と、当該スリット光によって形成された当該被測定部材表面の反射光の形状を認識する認識手段とを一体化した測定ユニットを備え、当該認識手段が認識した反射光の形状に基づいて前記被測定部材の表面の形状を光切断法に従って測定する測定装置を用いて、一方の第1被測定部材に対して接近した際に所定の間隔を隔てた隙間を形成するように他方の第2被測定部材が前記第1被測定部材に離間接近自在に取り付けられた被測定部材の前記隙間および段差を測定する測定方法であって、前記第1被測定部材の前記第2被測定部材接近側および前記第2被測定部材の前記第1被測定部材接近側双方の形状を前記測定装置によって測定する第1工程と、前記第1工程により測定された形状を連続線として認識する第2工程と、該連続線の最も長く続いている連続線を第1の連続線とし、2番目に長く続いている連続線を第2連続線として選択する第3工程と、前記第1連続線の前記第2連続線接近側の端点(P01)を認識する第4工程と、該第4工程により認識された端点(P01)から所定距離(A1)離れた前記第1連続線上の点(P1)を算出する第5工程と、前記第1連続線を前記点(P1)を端点とした直線として近似した第1近似直線C1を求める第6工程と、該第1近似直線(C1)から前記測定部材の隙間の深さ方向に所定距離(B1)離れた前記第1連続線上の点(Q1)を算出する第7工程と、前記点(P1)と該点(Q1)の位置を比較してする第8工程と、前記第8工程において、前記点(P1)が該点(Q1)より前記第2連続線接近側に位置している場合に、前記点(P1)を前記第5工程による所定距離(A1)を前記第2連続線接近側の端点(P01)から離れた方向に2倍した値に変更した点(P1 ́)を算出し、前記第6工程から前記第8工程まで、各工程の前記点(P1)を該点(P1 ́)として、点(Q1)が点(P1)より前記第2連続線接近側に位置するようになるまで繰り返す第9工程と、前記点(P1)から前記点(Q1)の間を複数等分した等分点を求め、該等分点の隣接する2点を通る直線と垂直な直線上の所定距離(R1)離れた複数の点を求める第10工程と、該複数の点を平均した位置を前記第1連続線の前記第2連続線接近側の端部における曲面の中心(O1)として認識する第11工程と、前記第2連続線の前記第1連続線接近側の端点(P02)を認識する第12工程と、該第12工程により認識された端点(P02)から所定距離(A2)離れた前記第2連続線上の点(P2)を算出する第13工程と、前記第2連続線を前記点(P2)を端点とした直線として近似した第2近似直線(C2)を求める第14工程と、該第2近似直線(C2)から前記第2連続線上の前記測定部材の隙間の深さ方向に所定距離B2離れた点(Q2)を求める第15工程と、前記(P2)と該点(Q2)の位置を比較する第16工程と、前記第16工程において、前記点(P2)が該点(Q2)より前記第2連続線接近側に位置している場合に、前記点(P2)を前記第13工程による所定距離(A2)を前記第1連続線接近側の端点(P02)から離れた方向に2倍した値に変更した点(P2 ́)を算出し、前記第14工程から前記第16工程まで、各工程の前記点(P2)を該点(P2 ́)として、点(Q2)が点(P2)より前記第2連続線接近側に位置するようになるまで繰り返す第17工程と、前記点(P2)から前記点(Q2)の間を複数等分した等分点を求め、該等分点の隣接する2点を通る直線と垂直な直線上の所定距離R2離れた複数の点を求める第18工程と、該複数の点を平均した位置を前記第2連続線の前記第1連続線接近側の端部における曲面の中心(O2)として認識する第19工程と、前記第1近似直線または前記第2近似直線と直交する前記中心(O1)を通る線と前記中心(O2)通る線の間の前記第1近似直線または前記第2近似直線と平行な距離(L)を求め、該距離Lから前記所定距離(R1)および(R2)を引いた距離を前記第1被測定部材を前記第2被測定部材との隙間として求める第20工程と、前記距離(L)の2等分点上で前記第1近似直線を延長した線と前記第2近似直線を延長した線との差を前記第1被測定部材を前記第2被測定部材との段差として求める第21工程と、を有することを特徴とする隙間および段差測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/14 , G01B 11/02 , G01B 11/22

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