特許
J-GLOBAL ID：200903027032504885
ペリクルケース
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-003041
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208221
出願日： 1993年01月12日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 レチクルを密閉状態で収納するペリクルに関し、特にレチクルへのペリクルの貼付を簡単にするペリクルケースの提供を目的とする。【構成】 ペリクル載置面13a にレチクルが載置される下蓋13と、この下蓋13に冠着する上蓋12とでなるペリクルケースに関し、レチクルにペリクルを張り付ける接着剤15b が殆ど接着しないように構成する。
請求項（抜粋）：
マスク若しくはレチクル(14)に接着剤(15b) を介して張り付けられるペリクル(15)を載置するペリクル載置面(13a) を有する下蓋(13)と、この下蓋(13)に冠着して前記ペリクル載置面(13a) に載置される前記レチクル(14)への異物の付着を防止する上蓋(12)とで構成されるペリクルケースにおいて、前記下蓋(13)のペリクル載置面(13a) が、前記接着剤(15b) と殆ど接着しない弗素系樹脂により形成されていることを特徴とするペリクルケース。
IPC (2件)：
引用特許：
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