特許

J-GLOBAL ID：200903027032842446

真空ア-ク蒸着装置

発明者： 藤井 博文
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014508
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212729
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】 陰極プレートからアーク放電によって蒸発させたイオン粒子を、真空室内で基材表面へ付着堆積させるようにした真空アーク蒸着装置において、粒径の粗い溶融粒子を減らすために陰極プレートの裏面部で永久磁石を円周移動させるようにしたものがある。従来、この永久磁石の円周移動は、電動モータと歯車機構との組み合わせにより行っていた。そのため、構造が複雑且つ大型化していた。【解決手段】 一般に、陰極プレート3の裏面部へは水等の冷媒が供給されているため、この冷媒にできる水流を駆動源として有効利用する。即ち、永久磁石9を偏心軸18で保持させ、この偏心軸18に水流ロータ22を設け、この水流ロータ22が冷媒の水流で回転する構造にした。従って、永久磁石9は偏心軸18の回転に伴って円周移動する。これにより、構造簡潔化及び小型化ができた。

請求項（抜粋）：

陰極プレート(3)からアーク放電によって蒸発させたイオン粒子を真空室(2)内で基材(W)表面へ付着堆積させる真空アーク蒸着装置において、陰極プレート(3)の裏面部には、アークスポット誘導用の磁場発生体(9)と、該磁場発生体(9)を陰極プレート(3)裏面に沿って移動自在に保持する移動保持手段(15)と、陰極プレート(3)に対して供給される冷媒の流れから磁場発生体(9)の移動力を取り出す駆動手段(16)とが設けられていることを特徴とする真空アーク蒸着装置。

Fターム (4件)：

4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA01 ,  4K029DA00