ポジ型感放射線性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-221889
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040661
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含み、かつガラス転移点Tgが80°C以上150°C以下である重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基、Aは酸素と結合している炭素が3級であり、芳香環を含有している1価の有機基を表す。)【化2】(ここでYは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基、Bは脂環式アルキル基を表す。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含み、かつガラス転移点Tgが80°C以上150°C以下である重合体(a)、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤(b)を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基、Aは酸素と結合している炭素が3級であり、芳香環を含有している1価の有機基を表す。)【化2】(ここでYは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基、Bは脂環式アルキル基を表す。)

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , C08F220/12 , C08F220/42 , C08L 5/00 , C08L 33/04 , C08L 33/18 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 , C08F 2/50 , C08F220/12 , C08F220/42 , C08L 5/00 , C08L 33/04 , C08L 33/18 , H01L 21/30 502 R

Fターム (51件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BF07 , 2H025BF08 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB60 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG081 , 4J002BG091 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J011QA03 , 4J011QA48 , 4J011SA61 , 4J011SA63 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AM05P , 4J100AM05Q , 4J100BA03Q , 4J100BA15Q , 4J100BB01P , 4J100BB01Q , 4J100BB03P , 4J100BB03Q , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BC09Q , 4J100BC12Q , 4J100BC43P , 4J100CA04 , 4J100DA25 , 4J100JA37 , 4J100JA38

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