電気光学装置の製造方法及び電気光学装置用の駆動基板の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-294017
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124459
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高いスイッチング特性と低リーク電流を有するLDD構造を有するnMOS又はpMOSTFTの表示部と、高い駆動能力のCMOS又はn又はpMOSTFT又はこれらの混在からなる周辺回路とを一体化した構成を可能とし、高画質、高精細、狭額縁、高効率、大画面化の表示パネルを実現することができ、しかも歪点が比較的低い大型のガラス基板であっても使用でき、生産性が高く、高価な製造設備が不要であってコストダウンが可能となり、更に、しきい値調整が容易であって低抵抗化による高速動作を可能にすること。【解決手段】基板1に形成した結晶性サファイア膜50をシードにして多結晶シリコン等を溶解した低融点金属層6からヘテロエピタキシャル成長により単結晶シリコン層7を形成し、この単結晶シリコン層7を表示部-周辺駆動回路一体型のLCDなどの電気光学装置のデュアルゲート型MOSTFTに用いる。

請求項（抜粋）：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置の製造方法において、前記第1の基板の一方の面上にゲート電極とゲート絶縁膜とからなるゲート部を形成する工程と、前記第1の基板の前記一方の面上に、単結晶シリコンと格子整合の良い物質層を形成する工程と、この物質層及び前記ゲート部を含む前記第1の基板上に多結晶又はアモルファスシリコン層を所定厚さに形成した後に前記第1の基板上であって前記多結晶又はアモルファスシリコン層上又は下に低融点金属層を形成するか、或いは、前記物質層を含む前記第1の基板上にシリコンを含有する低融点金属層を形成する工程と、加熱処理によって前記多結晶又はアモルファスシリコン層又は前記シリコンを前記低融点金属層に溶解させる工程と、次いで冷却処理(望ましくは徐冷処理)によって前記多結晶又はアモルファスシリコン層のシリコン又は前記低融点金属層のシリコンを前記物質層をシードとしてヘテロエピタキシャル成長させ、単結晶シリコン層を析出させる工程と、この単結晶シリコン層に所定の処理を施してチャンネル領域、ソース領域及びドレイン領域を形成する工程と、前記チャンネル領域の上部及び下部に前記ゲート部をそれぞれ有し、前記周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成するデュアルゲート型の第1の薄膜トランジスタを形成する工程とを有することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500 , G09F 9/00 346 , H01L 21/336

FI (6件)：

H01L 29/78 617 N , G02F 1/136 500 , G09F 9/00 346 E , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 626 C , H01L 29/78 627 G

Fターム (97件)：

2H092GA48 , 2H092GA55 , 2H092JA01 , 2H092JA24 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092KA03 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092MA04 , 2H092MA05 , 2H092MA06 , 2H092MA07 , 2H092MA08 , 2H092MA09 , 2H092MA15 , 2H092MA19 , 2H092MA25 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092NA05 , 2H092NA07 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092PA01 , 2H092PA08 , 2H092QA07 , 5F110AA08 , 5F110AA18 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC06 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD24 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE30 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG32 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL23 , 5F110HL27 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN15 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP08 , 5F110PP10 , 5F110PP23 , 5F110PP31 , 5F110PP34 , 5F110PP36 , 5F110QQ04 , 5F110QQ08 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5G435AA00 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435KK05 , 5G435KK09

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