特許

J-GLOBAL ID：200903027047631280

隣接チツプの比較によるウエハ異物検査方式

発明者： 神宮 孝広
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228831
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047885
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 隣接チップの比較方式による異物検査装置において、両端チップの検査漏れを防止する検査方式を提供することを目的とする。【構成】 レーザビームの走査がXの正方向(LR)のとき、X方向のチップ列11Xの最前位(A)とその次位の(B)のチップの差分データの極性を反転し、走査がXの負方向のとき、チップ列の最後位(N)とその前位(M)のチップの差分データの極性を反転し、正極の閾値Vthに比較して最前位(A)および最後位(N)の両端チップの異物をそれぞれ検出する。【効果】 チップ列の両端以外の中間のチップ(B)〜(M)は従来通り、後位と前位のチップの検出データの+極の差分データを正極の閾値Vthに比較して異物が検出され、両端のチップに対しては、その差分データの極性を-に反転することにより、レーザビームの走査方向に拘らず正極性の閾値Vthで異物が検出され、漏れなくすべてのチップについて検査がなされる。

請求項（抜粋）：

ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハをアライメントした後、X方向のICチップ列に対してレーザビームをXの正方向および負方向に順次に往復の走査をなし、互いに隣接した2個の前記ICチップのうち、前位のICチップに対する検出データをメモリに記憶し、該記憶された検出データから後位のICチップに対する検出データを差し引いた差分データを、正極の閾値に比較して前記各ICチップの異物を逐次に検出する異物検査装置において、前記走査がXの正方向のとき、前記X方向のICチップ列の最前位と該最前位につづく次位のICチップの差分データの極性を反転し、前記正極の閾値に比較して該最前位のICチップの異物を検出し、前記走査がXの負方向のとき、前記チップ列の最後位と該最後位の前位のICチップの差分データの極性を反転し、前記正極の閾値に比較して該最後位のICチップの異物を検出することを特徴とする、隣接チップの比較によるウエハ異物検査方式。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/68 ,  H01S 3/00