特許
J-GLOBAL ID：200903027051821301
放射光ミラー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336999
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172797
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 長尺ミラーの捩れに起因した集光効率の低下を防止する。【解決手段】 上側に反射面18を有する長尺ミラー13の各端部を保持する揺動ホルダ14と、長尺ミラー13が湾曲し得るように揺動ホルダ14を枢支する支持ホルダ15と、長尺ミラー13の下側において長尺ミラー幅方向に並行配置された複数の第1の湾曲用弾性体50と、第1の湾曲用弾性体50の下側において長尺ミラー幅方向に並行配置された複数の第2の湾曲用弾性体52と、両湾曲用弾性体50,52に係合し且つ長尺ミラー13に対して近接離反可能な変位ホルダ55とを備え、両湾曲用弾性体50,52を介して揺動ホルダ14を相互に連結し、両揺動ホルダ14の長尺ミラー13の幅方向への相対的な傾きを抑制して長尺ミラー13の反射面18に捩れが生じないようにする。
請求項（抜粋）：
反射面に放射光ビームが入射し得る長尺ミラーと、該長尺ミラーの各端部をそれぞれ保持する揺動ホルダと、長尺ミラーが湾曲し得るように各揺動ホルダを枢支する支持ホルダと、長尺ミラーの反射面側あるいは反射面の裏面側において長尺ミラー幅方向に並行配置され且つ両端部がそれぞれ揺動ホルダに連結された複数の第1の湾曲用弾性体と、長尺ミラーの反射面側あるいは反射面の裏面側において前記の第1の湾曲用弾性体とは異なる位置で長尺ミラー幅方向に並行配置され且つ両端部がそれぞれ揺動ホルダに連結された複数の第2の湾曲用弾性体と、両湾曲用弾性体に係合し且つ長尺ミラーに対して近接離反可能な変位ホルダとを備えてなることを特徴とする放射光ミラー装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 13/04 U
, G21K 1/06 A
