特許

J-GLOBAL ID：200903027052452369

磁気ヘッドの製造方法および磁気ヘッド

発明者： 天辰 篤志 ,  稲葉 宏 ,  山坂 稔 ,  遠藤 正義
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133450
公開番号（公開出願番号）：特開2000-322721
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 ヘッドスライダの浮上面へ、高精度かつ容易にキャンバ/クラウン等の球面形状を形成する。【解決手段】 ヘッドスライダ11、ヘッドスライダ11の浮上面11aに突設されたレール12、ヘッドスライダ11の側面に配置された複合薄膜ヘッド等からなるヘッド素子13を含み、レール12の表面には、カーボンを主成分とする高硬度膜12aが形成された磁気ヘッド10において、浮上面11aにおけるレール12以外の溝部11bには、製造過程のローバー状態におけるレール12の形成時のレジストをマスクとして、圧縮残留応力を持つ高応力膜20を形成し、ローバーからの分離で高応力膜20の圧縮残留応力による歪み変形を発現させ、ヘッドスライダ11の浮上面11aに高精度かつ容易にキャンバ/クラウン等の球面形状を形成する。

請求項（抜粋）：

記録媒体に対向する第1主面に凹凸構造が形成されたヘッドスライダと、前記ヘッドスライダの一部に配置され、前記記録媒体に対する情報の記録および再生動作を行うヘッド素子とを含む磁気ヘッドの製造方法であって、前記第1主面の前記凹凸構造における凹部、および前記第1主面と表裏をなす第2主面の少なくとも一方に第1の薄膜を形成し、前記第1の薄膜の残留応力にて、前記ヘッドスライダを前記第1主面側が前記記録媒体に対して凸となるように変形させることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。

Fターム (8件)：

5D042NA02 ,  5D042PA02 ,  5D042PA05 ,  5D042PA09 ,  5D042QA03 ,  5D042RA02 ,  5D042RA04 ,  5D042SA02