特許

J-GLOBAL ID：200903027052727716

表面検査装置

発明者： 野瀬 宏明
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328773
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190941
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 製品形状等に左右されることなく製品全面にわたる高精度の検査を容易に行なうことができる表面検査装置を提供する。【構成】 凹形状あるいは凸型形状を有する検査対象物に検査光を照射してカメラで撮像し、得られた撮像信号に基づいて表面検査を行なう表面検査装置において、検査対象物の輪郭部分については得られた撮像信号を第1しきい値を用いて二値化して第1の二値化データを得、検査対象物の輪郭部分以外の部分については得られた撮像信号を微分し、微分撮像信号を第2しきい値を用いて二値化して第2の二値化データを得る。その後、第1及び第2の二値化データに基づいて良否判別を行う。

請求項（抜粋）：

凹形状を有する検査対象物をカメラで撮像し、得られた撮像信号に基づいて表面検査を行なう表面検査装置において、前記検査対象物を前記カメラ側の第1の方向から照明する第1照明手段と、前記検査対象物を当該検査対象物を介して前記第1の方向とはほぼ逆方向の第2の方向から照明する第2照明手段と、前記第1照明手段及び前記第2照明手段を制御して、光量調整を行なう照明制御手段と、前記検査対象物の輪郭部分に相当する前記撮像信号を第1しきい値を用いて二値化して第1二値化データとして出力する第1二値化手段と、前記検査対象物の前記輪郭部分を除く部分の前記撮像信号を微分して微分撮像信号として出力する微分手段と、前記微分撮像信号を第2しきい値を用いて二値化して第2二値化データとして出力する第2二値化手段と、前記第1二値化データ及び前記第2二値化データに基づいて良否判別を行なう判別手段と、を備えたことを特徴とする表面検査装置。