特許
J-GLOBAL ID:200903027054786353
洗浄装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梶原 辰也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-303564
公開番号(公開出願番号):特開平9-129580
出願日: 1995年10月27日
公開日(公表日): 1997年05月16日
要約:
【要約】【課題】 ウエハの自然乾燥を防止する。【解決手段】 チャンバ11の洗浄室12にはアルカリ系洗浄槽20、第1水洗槽30、酸系洗浄槽40、第2水洗槽50および洗浄用搬送装置14が設備され、チャンバ11の乾燥室13にはベーパ乾燥装置60および乾燥用搬送装置15が設備されており、洗浄室12は多湿雰囲気16に維持されている。洗浄室12と乾燥室13との間には水中搬送装置70が洗浄後のウエハ1をベーパ乾燥装置のベーパ浴槽61に直接引き上げるように設備されている。【効果】 洗浄室内でウエハが洗浄用搬送装置により空中搬送される際、ウエハは多湿雰囲気に晒されるため、自然乾燥を防止され、洗浄後のウエハは水中搬送されてベーパ乾燥装置に移されるため、その移送中に自然乾燥される現象は防止される。その結果、ウエハの自然乾燥による染みの発生は防止される。
請求項(抜粋):
チャンバ内に複数の洗浄槽が並べて設けられ、被洗浄物が搬送装置によって搬送されて各洗浄槽に順次浸漬されて行く洗浄装置において、前記チャンバ内が高湿度に維持されていることを特徴とする洗浄装置。
IPC (4件):
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/304 351
, B08B 3/04
FI (4件):
H01L 21/304 341 C
, H01L 21/304 341 T
, H01L 21/304 351 V
, B08B 3/04 B
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