特許
J-GLOBAL ID：200903027062442710
位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250195
公開番号（公開出願番号）：特開平8-090376
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【目的】 位置調整が簡単に且つアイドリング状態でも出来、しかも短時間で出来るようにした、位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置を提供する。【構成】 基台に対する部材の位置を調整するための位置調整ユニットであって、この位置調整ユニットは基台に固定される基台固定部と、部材に固定される部材固定部と、前記基台固定部と部材固定部とに連通するシャフトとを有する。少なくとも前記基台固定部又は部材固定部の何れかには雌ねじが形成されており、前記シャフトには前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成される。被加工物を保持するチャックテーブルと、このチャックテーブルに対向して配設され、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ユニットとから構成された研削装置に、前記位置調整ユニットを組み付ける。
請求項（抜粋）：
基台に対する部材の位置を調整するための位置調整ユニットであって、この位置調整ユニットは基台に固定される基台固定部と、部材に固定される部材固定部と、前記基台固定部と部材固定部とに連通するシャフトとを有し、少なくとも前記基台固定部又は部材固定部の何れかには雌ねじが形成されており、前記シャフトには前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成されている、位置調整ユニット。
IPC (4件)：
B23Q 3/18
, B24B 41/02
, H01L 21/304 321
, H01L 21/304
