特許

J-GLOBAL ID：200903027073741336

構造体

発明者： 林 雅秀 ,  小出 晃 ,  海老根 広道
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-185816
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045484
出願日： 1993年07月28日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、構造体を識別するためのナンバリング方法を等方性,異方性を問わないエッチング等で形成することにある。【構成】上記目的を達成するために、2進法ナンバリング用の枠を必要桁数分だけ形成し、その枠内を抜き(1:エッチングする領域)と白抜き(0:エッチングしない領域)の区別でナンバリングすることにより達成される。

請求項（抜粋）：

シリコン基板を加工した構造体において、ウエハ内に形成されたチップ位置を識別するために2進法を用いて各チップにナンバリングしたことを特徴とした構造体。