流体可変型流量制御装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：杉本丈夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236656
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066732
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 1台の流量制御装置によりフルスケール流量を自在に変更でき、しかも複数種の流体を高精度に流量制御できるようにする。【解決手段】オリフィス上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持して流体の流量制御を行う流量制御装置FCSにおいて、流体の種類や流量範囲に応じて適切なオリフィス径に設定するために交換自在に設けたオリフィス8と、その上流側に設けたコントロール弁2と、コントロール弁2とオリフィス8の間に設けた圧力検出器6と、この圧力検出器6の上流側検出圧力P1 から流量をQc=KP1 (Kは定数)として演算する流量演算回路14と、流量設定信号Qeを出力する流量設定回路16と、フルスケール流量を切換えるために演算流量信号Qcに流量変換率kを掛けて切換演算流量信号Qf(Qf=kQc)に変換する流量変換回路18と、このQfとQeとの差を制御信号Qyとしてコントロール弁2の駆動部4へ出力する演算制御回路20から構成し、Qyが零になるようにコントロール弁2を開閉制御する構成とする。

請求項（抜粋）：

オリフィス上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持して流体の流量制御を行う流量制御装置において、流体の種類や流量範囲に応じて適切なオリフィス径に設定するために変換自在に設けたオリフィスと、その上流側に設けたコントロール弁と、コントロール弁とオリフィスの間に設けた圧力検出器6と、この圧力検出器の検出圧力P1 から流量をQc=KP1 (Kは定数)として演算する流量演算回路14と、流量設定信号Qeを出力する流量設定回路と、フルスケール流量を切換えるために演算流量信号Qcを切換演算流量信号Qfに変換する流量変換回路18と、この切換演算流量信号Qfと流量設定信号Qeとの差を制御信号Qyとしてコントロール弁の駆動部へ出力する演算制御回路から構成し、制御信号Qyが零になるようにコントロール弁を開閉してオリフィス下流側流量を制御することを特徴とする流体可変型流量制御装置。

IPC (5件)：

G05D 7/06 , F15D 1/04 , F16K 7/14 , F16K 31/06 385 , G05B 11/36

FI (5件)：

G05D 7/06 Z , F15D 1/04 , F16K 7/14 A , F16K 31/06 385 F , G05B 11/36 N

Fターム (25件)：

3H106DA05 , 3H106DC02 , 3H106KK12 , 5H004GA40 , 5H004GB01 , 5H004HA02 , 5H004HB01 , 5H004HB03 , 5H004JB11 , 5H004JB17 , 5H004JB29 , 5H004MA33 , 5H004MA41 , 5H307AA01 , 5H307BB01 , 5H307DD20 , 5H307EE02 , 5H307EE19 , 5H307EE36 , 5H307FF02 , 5H307FF12 , 5H307FF15 , 5H307GG11 , 5H307HH04 , 5H307JJ01

前のページに戻る