特許

J-GLOBAL ID：200903027083859912

ステージ装置及び露光装置

発明者： 荒井 治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-242642
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077503
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動に伴う反力とこの補償力との誤差力に起因してステージを支持するベースに振動が生じるのを防止する。【解決手段】 ステージRSTの駆動装置として該ステージRSTに一体的に取り付けられた可動子36A、36Bと、該可動子をステージRSTと一体的にX軸方向に相対駆動するとともにベースに対してX軸方向に移動可能に支持部材58によって支持された固定子38A、38Bとから成るリニアモータ40A、40Bが用いられている。このため、ステージRSTがリニアモータ40A、40によって駆動されると、その駆動力の反力が固定子38A、38Bに作用するが、固定子38A、38Bは支持部材58によってベースに対してX軸方向に移動可能に支持されているので、その反力がベースに伝わることがない。従って、ベースがステージ駆動時の反力によって振動するのを防止できる。

請求項（抜粋）：

ベースに対して移動可能なステージと、該ステージを駆動する駆動装置とを備えたステージ装置において、前記駆動装置は、前記ステージに一体的に取り付けられた可動子と、該可動子を前記ステージと一体的に所定方向に相対駆動するとともに前記ベースに対して前記所定方向に移動可能に支持部材によって支持された固定子とを有し、前記固定子の前記所定方向の両端に力を与える付勢装置を備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 19/02 ,  H01L 21/027 ,  B23Q 1/25

FI (5件)：

H01L 21/68 K ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 19/02 D ,  H01L 21/30 515 G ,  B23Q 1/14 B

Fターム (25件)：

3C048BC02 ,  3C048CC17 ,  3C048DD06 ,  3C048DD26 ,  3C048EE10 ,  5F031CA07 ,  5F031JA02 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046AA23 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC04 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046DA06 ,  5F046DA08 ,  5F046DB04 ,  5F046DB05 ,  5F046DC05