特許
J-GLOBAL ID：200903027085232780
赤外線センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190854
出願日： 1993年12月25日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】従来より高い赤外線吸収効率をもつ赤外線センサを提供すること。【構成】図1は、本発明の一例の楔型構造の温度感応膜を有する赤外線センサの断面図で、Si基板7に空洞を設け、支持層4で支えられた温度感応膜5がV字状の楔型構造に形成してあり、その底の部分に感熱素子6が形成してある。膜5の表面には絶縁層2を介して赤外線吸収膜1がある。中心を外れて入射してきた赤外線は吸収膜1でもかなり反射してしまうが、再び温度感応膜の別の部分に当たって、そこで再び吸収される。この楔型形状の傾きは3回反射する角度としてあるので、その吸収効率は格段に向上する。1回の反射で50%吸収されるとして、3回では50+25+12.5=87.5%吸収されることになり、かなり吸収効率が改善されることがわかる。
請求項（抜粋）：
外部から照射された赤外線を吸収する第一の赤外線吸収膜と、熱電変換により抵抗変化または起電力として電気信号を得る感熱素子と、赤外線の入射側の該感熱素子上に第二の赤外線吸収膜とが設けられている赤外線センサであって、前記第一の赤外線吸収膜に吸収されずに反射された赤外線が、前記感熱素子上の前記第二の赤外線吸収膜に入射することを特徴とする赤外線センサ。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 5/12
, G01J 5/20
, H01L 37/02
