光共振器を利用した走査型近接場光学顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-253411
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094859
出願日： 1997年09月18日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】再現性良く、かつナノメータオーダまでの空間分解能で効率よく観察可能とする。【解決手段】光導波路または光ファイバーを用いた進行波型光リング共振器の光導波路または光ファイバーの側面に、あるいは三枚以上のミラーを用いた進行波型光リング共振器の試料に対向するミラー面に、それぞれ光の波長より小さい微小突起を配設し、該微小突起をプローブとして試料に対向させ、プローブを試料に近づけたときに光リング共振器内に生じる後方散乱を一定にするか、光リング共振器の共振周波数または共振曲線の形状を一定にするようにプローブ-試料間距離をフィードバック制御することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料又はプローブの三次元走査のための送り機構を有する走査型近接場光学顕微鏡において、光導波路または光ファイバーを用いた進行波型光リング共振器の光導波路または光ファイバーの側面に光の波長より小さい微小突起を配設し、該微小突起をプローブとして試料に対向させ、プローブを試料に近づけたときに光リング共振器内に生じる後方散乱を一定にするか、光リング共振器の共振周波数または共振曲線の形状を一定にするようにプローブ-試料間距離をフィードバック制御することを特徴とする光共振器を利用した走査型近接場光学顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (3件)

光パルス列発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-276145 出願人：日本電信電話株式会社
周波数安定化リングレーザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-105061 出願人：日本電信電話株式会社
光送信装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-278235 出願人：株式会社東芝

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