特許
J-GLOBAL ID：200903027099158523
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140006
公開番号（公開出願番号）：特開平11-319733
出願日： 1998年05月21日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 混合条件に応じた濃度の処理液を安定的に基板処理部に供給する。【解決手段】 定量ポンプ25Qnにより薬液導入路23Qnから純水供給路21の途中の混合部22に薬液が導入される。混合部22に供給されている純水流量は純水流量センサ24で計測している。コントローラー26は混合部22に供給されている純水流量と混合条件とに応じた薬液の導入流量で、純水と混合する薬液を混合部22に導入するように定量ポンプ25Qnを制御するとともに、純水流量センサ24から得られる現在の純水流量を監視し、純水流量が変動すると、純水と混合する薬液の導入流量を、混合部22に供給されている現在の純水流量と混合条件とに基づき算出し、その導入流量で、純水と混合する薬液を混合部22に導入するように定量ポンプ25Qnの制御を変更する。
請求項（抜粋）：
処理液を基板に供給して処理する基板処理部と、混合条件に応じて純水と薬液とを混合した処理液を前記基板処理部に供給可能な処理液供給部とを備えた基板処理装置において、前記処理液供給部は、先端部が前記基板処理部に接続された純水供給路と、前記純水供給路の途中に設けられた混合部に薬液を導入する少なくとも1つの薬液導入路と、前記混合部に供給されている純水流量を計測する純水流量計測手段と、前記薬液導入路ごとに配設され、薬液を送液してその薬液を前記混合部に導入する定量ポンプと、前記混合部に供給されている純水流量と混合条件とに応じた薬液の導入流量で、純水と混合する薬液を前記混合部に導入するように前記定量ポンプを制御するとともに、前記純水流量計測手段から得られる現在の純水流量を監視し、純水流量が変動すると、純水と混合する薬液の導入流量を、前記混合部に供給されている現在の純水流量と混合条件とに基づき算出し、その導入流量で、純水と混合する薬液を前記混合部に導入するように前記定量ポンプの制御を変更する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
B08B 3/04
, G05D 11/02
, H01L 21/304 648
, B01F 3/08
, B01F 15/04
B08B 3/04 Z
, G05D 11/02
, H01L 21/304 648 G
, B01F 3/08 Z
, B01F 15/04 A
