特許
J-GLOBAL ID：200903027111727970
赤外線センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342555
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167708
出願日： 1993年12月13日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】感度低下や面積増加をまねくことなく、内部応力により自己破壊をおこさない受光メンブレンを有する赤外線センサを提供すること。【構成】図1は、赤外線センサの受光メンブレン2を上面から見た図と破線部A-A の断面図で、従来と異なり、梁1が受光メンブレン2領域内部に支持点を有するように形成してある。支持部位が、受光メンブレン内部であると、残留応力が少なくなり、該センサの破壊が防止される。梁の支持部位は、受光メンブレンの裏側でもよい。
請求項（抜粋）：
薄膜に形成され感温素子を含んだ赤外線の受光部と、該受光部を断熱的に支える梁と、該梁を支える基板とを備えて成る赤外線センサにおいて、前記梁の受光部側の支持部位が、該受光部の内部領域位置に設けられたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
