特許
J-GLOBAL ID：200903027113262142
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
丹羽 宏之
, 野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-321965
公開番号（公開出願番号）：特開2006-135055
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 先行処理を行うタイミングを最適に管理することで、精度劣化無しにスループット低下を最小限に抑えることのできる露光装置を提供するものである。【解決手段】 投影光学系の結像面近傍の物体面を、該物体面上の面位置を検出する位置検出手段を使用し、該投影光学系の焦点面に合焦する露光方法を備えた露光装置において、露光時にあらかじめ設定される該物体面の最適フォーカス面の検出に必要な設定値を得るために、露光に先駆けてあらかじめ実行される、先行処理実行のタイミングを管理し、計測精度に影響を与えることなくスループットの向上を図る。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
投影光学系の結像面近傍の物体面を、該物体面上の面位置を検出する位置検出手段を使用し、該投影光学系の焦点面に合焦する露光方法を備えた露光装置において、露光時にあらかじめ設定される該物体面の最適フォーカス面の検出に必要な設定値を得るための、露光に先駆けてあらかじめ実行される複数の先行処理の実行タイミング、及び露光前の先行処理で求められる該物体面の最適フォーカス面検出のための補正量を、記憶、管理する機構を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 526A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 502G
5F046AA28
, 5F046DA14
, 5F046DB14
