特許
J-GLOBAL ID：200903027115797817
表面電位計及び形状測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-093499
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308180
出願日： 1993年04月21日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 測定物の表面電位と表面形状を高速にかつ高感度に測定することが可能な表面電位計及び形状測定器を提供する。【構成】 片持ち梁18の共振周波数又はこの共振周波数とほぼ等しい周波数の交流電圧V3 に直流電圧V2 を重畳させた電圧を導電性探針17に印加する直流電圧重畳探針印加制御手段30を設け、交流電圧V3 による導電性探針17と測定物16の間の静電引力により生じる片持ち梁18の振動の振幅が零又は一定値になるように直流電圧V2 を可変させる直流電位制御手段25を設け、直流電圧V2 の電位を測定する直流電位測定手段26を設けた。
請求項（抜粋）：
測定物に対向配置された導電性探針を片持ち梁の先端に保持させ、前記測定物と前記導電性探針との間に作用する静電引力により前記片持ち梁を変形させ、この片持ち梁の変形により前記測定物と前記探針との間に作用する静電引力を検出して前記測定物の表面電位を測定するようにした表面電位計において、前記片持ち梁の共振周波数又はこの共振周波数とほぼ等しい周波数の交流電圧を前記導電性探針に印加する探針印加制御手段を設けたことを特徴とする表面電位計。
IPC (2件)：
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