特許

J-GLOBAL ID：200903027125291474

光導波路装置の製造方法および光導波路装置

発明者： 鶴岡 泰治
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大西 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304956
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 光接続損が実用上十分小さく、かつ製造が容易な光導波路装置を提供する。【解決手段】 コア6とクラッド層4,5,8とからなる光導波路とプラットフォーム上に搭載される光素子との光接続構造を有する光導波路装置の製造方法において、光導波路のコア6をパターン化する際にコア端部をプラットフォーム3の平坦面の端部近傍に位置付けておき、上部クラッド層8を形成した後、コア6の突起の影響がなくなった上部クラッド層8の平坦部をエッチングして端面を形成し、コア6への光の出し入れを上部クラッド層8を介して行う構造とする。これにより、光導波路の端面形成に必要なエッチング時間を短縮する。

請求項（抜粋）：

光素子が搭載されるプラットフォームを有する基板と、当該基板の前記プラットフォームを除く所定領域上に積層された下部クラッド層と、前記プラットフォームを含み前記下部クラッド層上に積層された高さ調整用クラッド層と、からなる基板積層体を作製する工程と、当該基板積層体上にコア層を形成した後、当該コア層をエッチングしてパターン化することによって、前記プラットフォームの端部近傍に、1つの端部を有するコアを形成する工程と、当該コアの前記端部近傍の一部領域を残して、前記プラットフォーム上の上部クラッド層の全部および高さ調整用クラッド層の少なくとも一部を、垂直にエッチング除去する工程と、を含み、前記プラットフォーム上に光素子が搭載され、かつコア部への光の出し入れを前記上部クラッド層を介して行うようにされた構造の光導波路装置を製造する、ことを特徴とした光導波路装置の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/30

FI (3件)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/30 ,  G02B 6/12 B

Fターム (15件)：

2H037BA23 ,  2H037BA24 ,  2H037CA12 ,  2H037CA34 ,  2H037DA06 ,  2H037DA12 ,  2H047KA04 ,  2H047KA15 ,  2H047MA03 ,  2H047MA05 ,  2H047MA07 ,  2H047PA01 ,  2H047PA24 ,  2H047TA32 ,  2H047TA43