特許
J-GLOBAL ID：200903027127009679
イオンマイクロビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020974
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231716
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】微細な部分の写真撮影において特にイオンビームによる試料の汚染を少なく、かつその撮影が高精度にできるイオンマイクロビーム装置を提供する。【構成】図1に示すようなイオンマイクロビーム装置において、画像情報が画像制御部17に記録され、その再生像をブラウン管14に表示し、これを用いて撮影範囲指定部18で写真撮影範囲を指定し、SIM像を最適なイオンビームの走査を行ないカメラ19で撮影を実施する。【効果】本発明によれば、微細な部分の写真撮影の領域設定において、イオンビームによる試料面の汚染量を少なく、かつ高精度設定ができるので、重要部分の高精度な写真撮影に効果がある。
請求項（抜粋）：
イオン源と、該イオン源から放出されるイオンビームを集束させる静電レンズ、試料上へのビーム照射をオン・オフするブランカー、試料上のビーム照射位置を制御する偏向器からなるイオンビーム制御系、イオンビーム照射により試料から放出される二次電子や二次イオンを検出する荷電粒子検出系、走査信号を偏向器に供給してイオンビームを偏向し、走査イオンビームの同期信号と上記荷電粒子検出系の出力信号とから走査イオン顕微鏡像を作り、これを記録,再生し、その再生像の全体あるいは一部をイオン照射の照射領域に指定できる信号処理系からなるイオンマイクロビーム装置において、カメラを具備し、かつ偏向制御系が記録、再生した像から写真撮影範囲を指定する機能を有することを特徴とするイオンマイクロビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/28
, H01J 37/30
