特許

J-GLOBAL ID：200903027136909542

露光装置及び露光方法

発明者： 小山 元夫 ,  田中 正司 ,  加藤 一之 ,  登 道男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133190
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335953
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】固体光源を備えた露光装置を提供する。【解決手段】光源1から射出される光束をマスクMへ導き、前記マスクのパターンを感光性基板P上に転写する露光装置において、前記光源と前記マスクとの間の光路中に配置されて、前記光源からの光束に基づいて前記マスクを照明する照明光学系を備え、前記光源は、前記感光性基板上での照度の値が30mW/cm2 以上となるように配列された複数個の固体光源を有する固体光源ユニットを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源から射出される光束をマスクへ導き、前記マスクのパターンを感光性基板上に転写する露光装置において、 前記光源と前記マスクとの間の光路中に配置されて、前記光源からの光束に基づいて前記マスクを照明する照明光学系を備え、 前記光源は、前記感光性基板上での照度の値が30mW/cm2 以上となるように配列された複数個の固体光源を有する固体光源ユニットを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 527 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515A

Fターム (11件)：

5F046BA04 ,  5F046CA03 ,  5F046CA10 ,  5F046CB04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DA07 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12