特許

J-GLOBAL ID：200903027142631076

BaTiO3配向膜の製造方法

発明者： 神垣 耕世 ,  永仮 尚謙 ,  ウエイ ウエイ
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-315048
公開番号（公開出願番号）：特開平8-169800
出願日： 1994年12月19日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】【目的】本発明はゾルゲル法を用いて、少なくとも一つの結晶軸を優先配向させたBaTiO3 配向膜を、屈折率の小さい透明な酸化物単結晶基板上に得る。【構成】ゾルゲル法によりBaTiO3 薄膜を製造する際、バリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシド溶液を4倍量以上、10倍量未満の水添加により加水分解処理したものを塗布溶液とし、該塗布溶液を基板に塗布した後、加熱乾燥して熱分解し、続いて700°C以上の温度で熱処理して結晶化させる。

請求項（抜粋）：

バリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシドから成る溶液を基板表面に塗布、乾燥を繰り返して被覆した後、バリウム(Ba)とチタン(Ti)を含む複合酸化物の結晶化温度以上の温度で焼成するBaTiO3薄膜の製造方法において、前記溶液をバリウム(Ba)とチタン(Ti)の複合アルコキシドに、該複合アルコキシドの全金属モル数の4倍量以上、10倍量未満の水を添加し、加水分解して調製することを特徴とするBaTiO3 配向膜の製造方法。

IPC (5件)：

C30B 29/32 ,  C01B 13/32 ,  C30B 7/14 ,  G02F 1/055 501 ,  H01B 3/12 303