特許
J-GLOBAL ID:200903027158923263
紫外線検出器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 茂信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-064179
公開番号(公開出願番号):特開2000-258247
出願日: 1999年03月11日
公開日(公表日): 2000年09月22日
要約:
【要約】【課題】 紫外線の蛍光への変換効率を高め、高精度に紫外線を検出することのできる紫外線検出器を提供する。【解決手段】 紫外線を蛍光に変換する板状の蛍光体11を中心に有し、紫外線を透過すると共に蛍光体11内で励起された蛍光を閉じ込める層12,13を蛍光体11の一方面及び他方面にそれぞれ設けてなる3層構造の板状体10と、板状体10の端面方向周囲に設けられた遮光物体としての金属筐体14と、一端部が板状体10の一端面に対向する金属筐体14部分に形成された貫通孔14aに対向配置され、板状体10により変換された蛍光を伝搬する光ファイバ15と、光ファイバ15により伝搬された蛍光を受光する受光素子16とを備える。
請求項(抜粋):
紫外線を蛍光に変換する板状の蛍光体を中心に有し、紫外線を透過すると共に蛍光体内で励起された蛍光を閉じ込める層を蛍光体の一方面及び他方面にそれぞれ設けてなる少なくとも3層構造の板状体と、前記板状体の端面方向周囲に設けられた遮光物体と、一端部が前記板状体の一端面に対向する遮光物体部分に形成された貫通孔に対向配置され、板状体により変換された蛍光を伝搬する光学ファイバと、前記光学ファイバにより伝搬された蛍光を受光する受光素子とを備えることを特徴とする紫外線検出器。
IPC (4件):
G01J 1/58
, G01J 1/02
, G02B 6/00
, H01L 31/0232
FI (4件):
G01J 1/58
, G01J 1/02 G
, G02B 6/00 B
, H01L 31/02 C
Fターム (16件):
2G065AA04
, 2G065AB05
, 2G065AB11
, 2G065BA01
, 2G065BA29
, 2G065BB02
, 2G065BB11
, 2H038AA08
, 2H038BA07
, 2H038BA10
, 5F088BA01
, 5F088BB06
, 5F088HA09
, 5F088JA14
, 5F088JA17
, 5F088LA05
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