特許
J-GLOBAL ID:200903027160231956

容積式真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邉 勇 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-083319
公開番号(公開出願番号):特開平8-254193
出願日: 1995年03月15日
公開日(公表日): 1996年10月01日
要約:
【要約】【目的】 インバータ、マグネットカップリング、流体継手、増速歯車等の別部品を用いずに、回転数可変制御、モータ過負荷防止制御を実現することができる容積式真空ポンプを提供する。【構成】 対向して配置された一対のルーツロータ2,2を同期回転させて排気を行う容積式真空ポンプにおいて、一対のルーツロータ2,2にそれぞれ接続される一対のモータロータ5A,5Bと、この一対のモータロータ5A,5Bに対向するモータステータ6とを具備したブラシレス直流モータMを設けた。
請求項(抜粋):
対向して配置された一対のポンプロータを同期回転させて排気を行う容積式真空ポンプにおいて、前記一対のポンプロータにそれぞれ接続される一対のモータロータと、この一対のモータロータに対向するモータステータとを具備したブラシレス直流モータを設けたことを特徴とする容積式真空ポンプ。
IPC (4件):
F04C 25/02 ,  F04C 18/18 ,  F04C 29/10 311 ,  H01F 7/02
FI (4件):
F04C 25/02 K ,  F04C 18/18 B ,  F04C 29/10 311 C ,  H01F 7/02 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-275089
  • 特開昭60-237886

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