固体撮像素子及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-235693
公開番号（公開出願番号）：特開2007-053153
出願日： 2005年08月16日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：

【課題】簡便な構成で、ゴミ・異物付着が避けられ、ノイズのない撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】有効画面内に光電変換素子10と、複数色のカラーフィルタ14と、マイクロレンズ18とが積層され、有効画面外に遮光膜17が設けられた固体撮像素子にて、マイクロレンズ上及び遮光膜上に粗化した表面を有する平坦層19が形成されたこと。平坦層がフッ素系アクリル樹脂を用いて形成されたこと。遮光膜の可視領域400nm〜600nmにおける光透過率が10%以下であること。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、撮像の有効画面内に2次元的に配設された光電変換素子の上方に、該光電変換素子の各々に対応した複数色のカラーフィルタとマイクロレンズとが積層され、該撮像の有効画面外に遮光膜が設けられた固体撮像素子において、該マイクロレンズ上及び遮光膜上に粗化した表面を有する平坦層が形成されたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , G02B 5/00 , H04N 5/335 , H04N 9/07

FI (5件)：

H01L27/14 D , G02B3/00 A , G02B5/00 B , H04N5/335 U , H04N9/07 A

Fターム (32件)：

2H042AA03 , 2H042AA09 , 2H042AA15 , 2H042AA21 , 4M118AA01 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118GB09 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GC11 , 4M118GC14 , 4M118GD04 , 4M118GD20 , 5C024CX21 , 5C024CX41 , 5C024CY47 , 5C024CY48 , 5C024DX01 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5C065BB22 , 5C065BB42 , 5C065BB44 , 5C065BB48 , 5C065CC01 , 5C065DD17 , 5C065EE05 , 5C065EE06 , 5C065EE07

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-53073号公報
特開平2-244625号公報
特開平4-223371号公報

全件表示

前のページに戻る