特許
J-GLOBAL ID：200903027176151707
半導体加速度検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-005137
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213918
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 感度を向上させるための重りが外れた場合に、これを確実に検知できる半導体加速度検出装置を得ることを目的とする。【構成】 加速度検出梁1は一端で台座4に保持されその他端には重り12が設けられている。重り12の加速度検出梁1に接着される面には、図示しない金膜等の導電性部材が形成されており、加速度検出梁1の重り12に接着される面には、2つの独立したアルミニウム電極10が設けられ、導電性部材と導通している。アルミニウム電極10は、ゲージ抵抗2から構成されるブリッジ回路に電気的に直列になるように接続されている。【効果】 重りが外れると加速度検出梁1に設けられたアルミニウム電極10が全て電気的に断線されるため、センサ出力が異常となり重り外れを確実に検知できる。
請求項（抜粋）：
一方の面にダイヤフラムが形成され、他方の面の上記ダイヤフラムに対応した位置にブリッジ回路に配線されたゲージ抵抗が形成された加速度検出梁と、この加速度検出梁の一端に接着された重りと、上記加速度検出梁の他端で加速度検出梁を支持する台座と、この台座を搭載する基板と、上記ゲージ抵抗と外部装置とを電気的に接続する電気的接続手段とを備えた半導体加速度検出装置であって、上記加速度検出梁の上記重りが接着される面には2つ以上の独立した電極が形成され、上記重りの少なくとも上記加速度検出梁に接着される面は導電性部材からなり、上記電極は上記ブリッジ回路における電源に直列に接続されると共に、上記電極と上記導電性部材とは電気的に導通していることを特徴とする半導体加速度検出装置。
IPC (2件)：
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