ガス成分自動分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204692
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014713
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】システム全体を大規模化することなく、測定タイミングのずれに起因する各測定ポイントの平均ガス濃度の誤差を低減し、設置場所付近の大気の汚染を防止する。【解決手段】サンプリング部1では、吸収液流路に直列に配置された捕集部31〜3nが、各測定ポイント81〜8nのガス成分を、吸収液流路を通液する吸収液に吸収させることによって、ほぼ同時に各測定ポイントのガスを捕集する。測定対象のガス成分の平均ガス濃度は、濃縮部4によって蓄積されたガス成分の濃度から、サンプリング数、すなわち補集部の数を除算することによって得られる。排気部7は、捕集部31〜3nによって吸収液に吸収されなかった大気ガス中の残留汚染ガス成分を除去する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの測定対象エリア内における複数の測定ポイント毎に備えられたサンプリング管を介して近傍に集められた前記各測定ポイントのガス成分を、通液する吸収液に吸収させるための捕集部を有するサンプリング部と、前記吸収液に吸収されたガス成分を蓄積する動作を行う濃縮部と、前記濃縮部によって蓄積されたガス成分から、測定対象となっている少なくとも1つのガス成分を抽出する動作を行う分析部と、一定間隔で、前記サンプリング部と、前記濃縮部と、前記分析部とに前記各動作を実行させ、前記分析部によって抽出されたガス成分の平均ガス濃度の算出を行う制御部とを備えるガス成分自動分析装置。

IPC (3件)：

G01N 30/00 , G01N 1/22 , G01N 33/00

FI (3件)：

G01N 30/00 G , G01N 1/22 B , G01N 33/00 C

Fターム (21件)：

2G052AA01 , 2G052AA03 , 2G052AB01 , 2G052AC13 , 2G052AC28 , 2G052AC30 , 2G052AD02 , 2G052BA14 , 2G052CA03 , 2G052CA04 , 2G052CA12 , 2G052CA35 , 2G052ED01 , 2G052ED07 , 2G052ED09 , 2G052FD09 , 2G052FD17 , 2G052GA27 , 2G052HA00 , 2G052HC04 , 2G052HC08

引用特許：

審査官引用 (6件)

多点極微量物質自動分析装置及び分析方法並びに極微量物質自動分析装置及び分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-081067 出願人：日本電気株式会社
特開平3-063544
ガス分析装置用切換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-024644 出願人：横河アナリティカルシステムズ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

JIS-B-9920「クリーンルーム中における浮遊微粒子の濃度測定方法及びクリーンルームの空気清浄, 1989

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