特許

J-GLOBAL ID：200903027180925610

超伝導放射線検出器とその製造方法とそれを用いた装置

発明者： 田中 啓一
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-093586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-284054
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 カウントレートの高い超伝導放射線検出器と、試料表面の形状情報と組成分析を同時に行う超伝導放射線検出器を得ること、及び、そのための超伝導放射線検出器の製造方法とそれを用いた装置を得ること。【解決手段】 1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、1K以下で動作可能な超伝導量子干渉素子4と1K以下で動作する超伝導放射線検出素子1が一つのチップ上に作製されていることを特徴とする超伝導放射線検出器を用いた。

請求項（抜粋）：

1K以下の冷却が可能な冷却装置を用いて動作する超伝導放射線検出器において、1K以下で動作可能な超伝導量子干渉素子と1K以下で動作する超伝導放射線検出素子が一つのチップ上に作製されていることを特徴とする超伝導放射線検出器。

Fターム (10件)：

2G088EE30 ,  2G088FF03 ,  2G088FF15 ,  2G088GG22 ,  2G088GG23 ,  2G088JJ08 ,  2G088JJ23 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK13