特許
J-GLOBAL ID：200903027194606231
静電ウエーハチャック用プレート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-264001
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120328
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 高純度で、非発塵性、耐熱性、非熱変形、温度分布の均一性、耐熱衝撃性、耐酸化性に優れ、また、腐食性ガスによる耐食性にも優れる静電ウエーハチャック用プレートを提供する。【構成】 電極部分2となる高純度のガラス状炭素に炭化珪素を被覆し、所望の形状に加工してなる静電ウエーハチャック用プレート1。
請求項（抜粋）：
電極部分となる高純度のガラス状炭素に炭化珪素を被覆し、所望の形状に加工してなる静電ウエーハチャック用プレート。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
