特許
J-GLOBAL ID:200903027195354643
集積光干渉センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 秀策
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-513690
公開番号(公開出願番号):特表平11-505023
出願日: 1996年09月27日
公開日(公表日): 1999年05月11日
要約:
【要約】改良された集積型光干渉センサは、プレーナー型導波路を用いてマッハ・ツェンダー干渉センサに等しい検出感度を提供し、しかもプレーナー型導波路の入力結合および製造の容易さという特性を維持する。向上した出力信号処理能力は、プレーナー構造を採用した少なくとも2つの集積型光干渉センサを用いることにより提供される。
請求項(抜粋):
環境の特性を検出する装置であって、a.コヒーレントな放射ビームを生成する手段と、b.プレーナー型導波路であって、 i.該環境の該特性への露出の第1の作用(function)として放射がその中を伝搬することを可能にする第1の領域と、 ii.該環境の該特性への露出の第2の作用として放射がその中を伝搬することを可能にする、該第1の領域とは異なる第2の領域であって、該第2の作用は該第2の作用と異なる、第2の領域と、を含むプレーナー型導波路と、c.該プレーナー型導波路に該ビームを結合する手段と、d.該第1の領域を伝搬した後の該ビームの第1の部分と該第2の領域を伝搬した後の該ビームの第2の部分との位相差を決定する手段と、を含み、該プレーナー型導波路を介する該ビームの伝達を該ビームの単一のモードのみに制限する構造的特徴を有する、装置。
IPC (3件):
G01N 21/45
, G01B 9/02
, G01J 9/02
FI (3件):
G01N 21/45 A
, G01B 9/02
, G01J 9/02
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平2-171639
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特許第5442169号
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特表平2-504313
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