特許

J-GLOBAL ID：200903027199168038

コールドトラップ

発明者： 下田 一喜 ,  劉 秀雄 ,  滝川 一儀 ,  羽田 比呂志 ,  坂本 保司 ,  渡辺 郁夫 ,  渡邉 幸雄 ,  渡辺 忍
出願人/特許権者： 臼井国際産業株式会社
代理人 (1件)： 押田 良輝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-344044
公開番号（公開出願番号）：特開2002-147352
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 不純物ガス中の生成物の付着率を著しく向上できるコールドトラップの提供。【解決手段】 真空雰囲気中のガスまたはガス中に含まれる生成物等を凝縮・吸着させるトラップ部を有するトラップ本体と、該トラップ本体を包囲収容する筒形の密閉型容器からなり、前記トラップ本体をステンレス鋼管からなる配管の外周にステンレス帯材をスパイラル状に巻回したフィンチューブで構成し、かつ該フィンチューブをコイル状に巻回して容器本体内中央部に配設したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガス中に含まれる生成物等を凝縮・吸着させるトラップ部を有するトラップ本体と、該トラップ本体を包囲収容する筒形の密閉型容器からなり、該密閉型容器にはガスの入口および出口と、ドレン排出口が設けられ、前記トラップ本体はステンレス鋼管からなる配管の外周にステンレス帯材をスパイラル状に巻回したフィンチューブからなり、かつ該フィンチューブはコイル状に巻回されて容器本体内中央部に配設され、該フィンチューブの入口および出口を容器蓋体または容器本体に取付けた構成となしたことを特徴とするコールドトラップ。

Fターム (4件)：

3H076AA25 ,  3H076BB05 ,  3H076BB12 ,  3H076CC52