特許

J-GLOBAL ID：200903027200407114

放射線検出器デバイスに適するCVDダイヤモンド及びその製造方法

発明者： グラント ルー ,  ゴードン エル.カン
出願人/特許権者： サン ゴバン/ノートン インダストリアル セラミックス コーポレイション
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167915
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082081
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 電子放射線検出器に使用するに適切な、高い捕集距離を可能にするダイヤモンド材料及びその製造方法を提供する。【構成】 化学蒸着によってダイヤモンドを作成する方法であって、排気した堆積チャンバーの中に堆積基材を配置し、酸化剤の活性種、促進用ガス、及び炭素源を含む活性化ガスを堆積チャンバーの中で基材と接触させて発生させ、炭素源ガスと促進用ガスの相対比は、促進用ガスが水素のとき、0.07%未満のメタンが炭素源ガスとして存在するダイヤモンドの作成方法。好ましくは酸化剤を活性化ガスの中に注入し、酸化剤は炭素-酸素化合物、水素-酸素化合物、炭素-水素-酸素化合物からなる群より選択し、促進用ガスは水素であり、基材の温度が約975°C未満である。

請求項（抜粋）：

化学蒸着によってダイヤモンドを作成する方法であって、排気した堆積チャンバーの中に堆積基材を配置し、酸化剤の活性種、促進用ガス、及び炭素源を含む活性化ガスを堆積チャンバーの中で基材と接触させて発生させ、炭素源ガスと促進用ガスの相対比は、促進用ガスが水素のとき、0.07%未満のメタンが炭素源ガスとして存在するダイヤモンドの作成方法。

IPC (2件)：

C30B 29/04 ,  G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-286299
  
• 特開昭61-183198