特許

J-GLOBAL ID：200903027209812968

レ-ザ走査型顕微鏡

発明者： 有本 理恵子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183469
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020382
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 微小量の位相変化を高コントラストで観察でき、かつ高速で画像処理が行えるレ-ザ走査型顕微鏡を提供すること。【構成】 レ-ザ光源と、該レ-ザ光源からの光を試料表面上にスポット状に絞り込む光学系と、該レ-ザスポットによって試料表面上を走査するための走査手段と、前記レ-ザスポットから得られる前記試料表面上の輝度情報の電気信号および位置情報により画像を形成する画像形成処理手段とを備えたレ-ザ走査型顕微鏡において、画像形成処理の前に前記輝度情報を含む電気信号に対して予め定められた直流オフセット電位分を減算する引算処理手段および前記直流オフセット電位分の減算の後に前記電気信号を予め定められた増幅率で増幅する増幅手段を備えた。

請求項（抜粋）：

レ-ザ光源と、該レ-ザ光源からの光を試料表面上にスポット状に絞り込む光学系と、該レ-ザスポットによって試料表面上を走査するための走査手段と、前記レ-ザスポットから得られる前記試料表面上の輝度情報の電気信号および位置情報により画像を形成する画像形成処理手段とを備えたレ-ザ走査型顕微鏡において、画像形成処理の前に前記輝度情報を含む電気信号に対して予め定められた直流オフセット電位分を減算する引算処理手段および前記直流オフセット電位分の減算の後に前記電気信号を予め定められた増幅率で増幅する増幅手段を備えたことを特徴とするレ-ザ走査型顕微鏡。