特許
J-GLOBAL ID：200903027219250330
窒化珪素焼結体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013359
公開番号（公開出願番号）：特開2000-211974
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：
【要約】【課題】 特に、高温の酸及びアルカリ溶液中における耐食性に優れ、強度が大きく、且つ容易に緻密化できる窒化珪素焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 マグネシウムをMgO換算で0.1〜2重量%、アルミニウムをAl2O3換算で0.1〜2重量%、タンタルをTa2O5換算で0.5〜2重量%、ジルコニウムをZrO2換算で1〜5重量%含有する窒化珪素焼結体を得る。特に、マグネシウムとアルミニウムとタンタルとの合計量を酸化物換算で4重量%以下とすることが好ましい。この焼結体は、窒化珪素粉末と所定の焼結助剤粉末とを、窒素雰囲気下、特に、10〜100kg/cm2の圧力でガス圧焼成することにより、容易に、且つ安価に製造することができる。更に、還元雰囲気において焼成することにより、タンタルとしてTaCを含有する焼結体とすることで色むらの抑えられた商品価値の高い焼結体とすることができる。
請求項（抜粋）：
マグネシウム元素をMgO換算で0.1〜2重量%、アルミニウム元素をAl2O3換算で0.1〜2重量%、タンタル元素をTa2O5換算で0.5〜2重量%、及びジルコニウム元素をZrO2換算で1〜5重量%含有することを特徴とする窒化珪素焼結体。
Fターム (19件)：
4G001BA03
, 4G001BA06
, 4G001BA12
, 4G001BA14
, 4G001BA32
, 4G001BB03
, 4G001BB06
, 4G001BB12
, 4G001BB14
, 4G001BB24
, 4G001BB32
, 4G001BC13
, 4G001BC45
, 4G001BC54
, 4G001BC55
, 4G001BC57
, 4G001BD14
, 4G001BD37
, 4G001BE03
