特許
J-GLOBAL ID：200903027234875923
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308902
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159176
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 生産性に優れ、安価で性能の安定したセンサを提供する。【構成】 センサには半導体基板31の異方性エッチングにより形成された、枠部21と、可動部(振動部)25と、これら両部の間を一体に連結する複数のフレクチャ部26とが備えられる。フレクチャ部26に形成された複数のピエゾ抵抗素子22によりブリッジ回路が構成される。フレクチャ部26の屈曲状態に応じた歪成分により生ずるピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化をブリッジ回路出力として取り出し、入力角速度を検出する。
請求項（抜粋）：
半導体基板の異方性エッチングにより形成された、枠部と、可動部(振動部)と、これら両部の間を一体に連結する複数のフレクャ部とを有し、そのフレクチャ部に設けられた複数のピエゾ抵抗素子によりブリッジ回路が構成され、前記フレクチャ部の屈曲状態に応じた歪成分により生じる前記ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化を前記ブリッジ回路出力として取り出し、この出力により入力角速度を検出する角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
