特許

J-GLOBAL ID：200903027235119510

洗浄度測定装置

発明者： 芹 澤 和 泉 ,  綿 貫 稔
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291299
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129262
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：

【要約】【目的】従来の表面電位測定方法を利用して被処理物の全面に渡って洗浄度を測定できると共に、被処理物の厚みにかかわらず洗浄度の測定を可能とする洗浄度測定装置を提供することである。【構成】上面に電極3a1 を設けた昇降テーブル3と、この昇降テーブル3を昇降自在に駆動する駆動機構4と、前記昇降テーブル3に対向するように昇降テーブルの上方に配置した振動電極部6と、前記昇降テーブル3上に載置した被処理物2と前記振動電極部6間の距離を設定するセンサーとを備えた洗浄度測定装置1である。

請求項（抜粋）：

上面に電極を設けた昇降テーブルと、この昇降テーブルを昇降自在に駆動する駆動機構と、前記昇降テーブルに対向するように昇降テーブルの上方に配置した振動電極部と、前記昇降テーブル上に載置した被処理物と前記振動電極部間の距離を設定するセンサーとを備えたことを特徴とする洗浄度測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  G01N 1/34

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-224243
  
• 特開平2-114386
  
• 特開平2-114113
  
• 特開平2-170279